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刘力 , 杨莉松 , 王桂英 , 徐至展
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.019
在光纤共焦扫描显微镜(FOCSM)的基础上,利用其轴向响应曲线的线性部分,给出了一种测定物体微位移的新方法.并用该方法精确测量了压电陶瓷微小的逆压电伸缩效应,分辨率可以达到纳米量级.
关键词: 差分共焦显微镜 , 轴向响应曲线 , 压电陶瓷
