姚劲刚
,
胡文琦
,
叶璐
,
郑列华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.05.002
在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点.辅助面的背向零位检测方法,从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校正能力.这种检验方法可用于偏心率-1/n2＜e2＜1/n2的凸非球面.辅助面有两个作用,其一为将实体非球面的球心引入到空气中;其二则为辅助面与凸非球面的组合可以补偿凸非球面的法距差.通过理论分析与Zemax编程计算得出当-0.5＜e2＜0.5时非球面的RMS值均优于λ/30.在工程实际应用中,通过此方法检测的凸非球面波前误差优于λ/100.可以得出辅助面对凸非球面的法距差具有一定的补偿能力这一结论.
关键词:
几何光学
,
辅助面补偿
,
凸非球面检测
