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纳米金刚石薄膜的合成、表征及应用

朱利兵 , 唐元洪 , 林良武

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.038

纳米金刚石薄膜具有众多优异性能,在众多领域有广泛的应用.本文在详细介绍纳米金刚石薄膜合成的基础上,着重阐述了对纳米金刚石薄膜的表征,介绍了近边X射线的吸收光谱可有效地用于鉴别大面积纳米金刚石薄膜.

关键词: 纳米金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 近边X射线的吸收光谱

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