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低温等离子体的诊断方法

刘晓东 , 郑晓泉 , 张要强 , 曲文波

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.02.013

低温等离子体是空间主要环境之一,近年来也被广泛应用于能源、航空、环境科学、国防及材料表面改性等方面.详细的分析了等离子体诊断的常用方法和适用范围,认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素,一是测量准确度(灵敏度),二是测试系统不对等离子体产生较大扰动.

关键词: 等离子体 , 郎缪尔探针法 , 微波透射法 , 光谱法