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季振国 , 席俊华 , 毛启楠
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.10074
利用一台高能脉冲激光器和一个光纤耦合的CCD光谱仪构建了激光诱导击穿光谱仪(LIBS),并用它测量了重掺硅片中的氧含量.硅中的氧含量通过LIBS谱中的OI(777nm)谱线和SiI(288nm)谱线的强度比值OI/SiI获得.为了确定氧含量的绝对值,选定了4个轻掺杂的硅样品,分别利用业界通用的傅利叶...
关键词: 激光诱导击穿光谱 , 氧含量 , 重掺硅