孙心瑗
,
周灵平
,
李绍禄
,
李德意
,
张刚
,
陈本敬
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.04.022
在热丝化学气相沉积金刚石系统中,通过双灯丝间的热阴极放电产生等离子体,对衬底施加正负偏压形成电子促进,比较分析了它们及其组合的各种辅助方法对金刚石生长速率的影响.结果表明,在以丙酮为碳源、灯丝总功率不变的情况下,等离子体可明显增强金刚石的生长,其生长速率约为纯热丝法的三倍;而正偏压对等离子体辅助沉积金刚石不仅没有增强形核作用,而且抑制金刚石的生长;电子促进法可以显著提高金刚石的成核密度,但并不能提高金刚石生长速率.
关键词:
金刚石多晶球
,
生长速率
,
等离子体增强
,
偏压
,
热丝化学气相沉积
