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硅纳米线的制备及其光学性能的研究

陈亚婷 , 王金良 , 陈泽升 , 秦韶阳 , 薄乾红

人工晶体学报

通过金属催化化学刻蚀的方法中的两步法制备出了具有阵列结构的硅纳米线,研究了不同刻蚀条件对硅纳米线形貌的影响,分析了形成不同形貌的原因.测定了不同条件下制备的硅纳米线的光吸收性能,总结了影响光吸收性能的因素和原因,根据硅纳米线的光吸收图求出了硅纳米线的禁带宽度,说明了硅纳米线已经具备不同于硅片的性能.

关键词: 硅纳米线 , 金属催化化学刻蚀法 , 光吸收