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杨玉国 , 王卓 , 杨长红
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.035
采用金属有机分解法(MOD)在p-Si(111)衬底上制备了钛酸铜钙(CaCu3Ti4O12)薄膜.对前驱体溶液粉体退火后做了红外和X射线分析;对薄膜退火后做了X射线和原子力显微镜分析.结果表明,在空气中750℃退火1h后,钛酸铜钙结晶良好;钛酸铜钙薄膜的生长为二维生长模式.
关键词: 金属有机分解法 , 钛酸铜钙 , 薄膜
杨长红 , 王卓 , 韩建儒
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.05.015
采用金属有机分解法(MOD)在p型Si(111)衬底上制备了K0.5Bi0.5TiO3(KBT)薄膜.用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性.同时还研究了薄膜的绝缘性和存储性能.结果发现在740°C下退火4min的KBT薄膜呈钙钛矿结构;在0～8V范围内,薄膜的漏电流小于1.5×10-9A;在-12～+8V的偏压范围内,C-V记忆窗口宽度为10V.
关键词: 金属有机分解法 , KBT , 铁电薄膜
