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金属有机沉积法制备SrTiO3薄膜

罗清威 , 冉阿倩 , 李凤华 , 李英楠 , 洪成哲 , 樊占国

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2011.03.009

采用金属有机沉积( MOD)法制备了SrTiO3 (STO)外延薄膜作为YBa2Cu3O7-δ涂层导体的缓冲层.以乙酸锶、钛酸丁酯为前驱物配制了Sr离子浓度为0.125 mol ·L-1的SrTiO3前驱溶液.研究了950℃下不同烧结时间(90、120、150 min)对在双轴织构的Ni -W(200)金属基带上沉积STO外延薄膜晶体取向和微观形貌的影响.结果表明,在950℃氩氢混合气氛(Ar - 4% H2)下适宜于STO薄膜外延生长的最佳烧结时间为120 min;STO缓冲层薄膜表面平整致密,无裂纹和孔洞,具有良好取向,可作为YBa2Cu3O7-δ涂层导体的缓冲层.

关键词: 金属有机沉积 , 涂层导体 , SrTiO3 , 缓冲层 , 烧结时间

MOD—YBCO对缓冲层组织结构的影响

金利华 , 卢亚锋 , 白利锋 , 冯建情 , 于泽铭 , 王耀 , 李成山

低温物理学报

采用金属有机沉积(MOD)的方法在两种缓冲层衬底上成功制备出YBCO超导层,在77K自场条件下获得超导临界电流密度达到~1MA/cm2.本文主要研究了MOD过程对缓冲层的组织结构的影响,采用X射线衍射和扫描电镜对薄膜的相组成和形貌进行了表征.结果发现,在MOD制备YBCO薄膜过程中,缓冲层会发生一定程度的界面反应和衬底氧化,对材料的超导性能产生影响.

关键词: 涂层导体 , 金属有机沉积 , 缓冲层

金属有机沉积法制备La2CuMnO6缓冲层薄膜及其结构表征

马高峰 , 雷宁 , 张国防 , 郭金亮 , 白宏斌 , 冯宝奇 , 卢亚峰 , 李成山 , 闫果

材料导报

利用热重分析(TG)对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对金属有机沉积法(MOD)合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征.结果表明,选择合适的前驱体La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O,在1000℃、保温时间3h、SrTiO3(STO)(100)、Ar-4% H2气氛及总离子浓度1.0mol/L的工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求.

关键词: 金属有机沉积 , La2CuMnO6缓冲层 , 制备及结构表征

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