柳翠
,
苟伟
,
牟宗信
,
李国卿
功能材料
使用金属离子注入的方法制备了Ti掺杂的DLC膜.采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,Ti掺杂后DLC膜的表面粗糙度明显减小,表面光洁度增加,颗粒细化.拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,掺杂Ti后的DLC膜的拉曼光谱存在明显的肩峰,DLC膜化学结构中的sp2组分增加,sp3组分减少.透射电子显微镜分析表明Ti注入后有TiC纳米晶形成.掺入Ti的DLC膜的硬度从14GPa增加到20GPa.Ti掺杂后的DLC膜的摩擦系数(0.15)明显低于未掺杂的DLC膜的摩擦系数(0.21),Ti离子注入有助于提高薄膜的抗磨损性.
关键词:
无机非金属材料
,
类金刚石碳膜
,
金属离子注入
,
钛掺杂
陈海波
,
蒋昌忠
,
石瑛
,
付强
功能材料
采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ag、Cu离子,先后注入到SiO2玻璃.注入的剂量均为5×1016ions/cm2,Ag的加速电压为43kV,Cu的加速电压为30kV.光学吸收谱显示吸收峰的位置在442nm,可以推测Ag、Cu在SiO2玻璃表层形成了纳米合金.借助X射线光电子能谱仪(XPS)考察注入样品的价态分布,观察到Ag、Cu仍大多以金属态形式存在.对样品进行退火后,发现光学透射率发生了明显的变化.
关键词:
金属离子注入
,
光学透射率
,
纳米颗粒
,
表面等离子体共振吸收
,
XPS
吴瑜光
,
张通和
,
谢孟峡
,
周固
功能材料
采用MEVVA离子注入机引出的Cu和Ni离子注入聚酯薄膜,注入后的聚酯膜极大降低了聚酯膜的电阻率.注入表面紫外线和红外线吸收特性明显地增强.用透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面,TEM观察表明,在注入层中形成了纳米金属颗粒和富集的碳颗粒.注入层的结构的变化和新相的形成引起了聚合物表面物理和化学特性的改变,进而讨论了金属离子注入聚酯膜的改性机理.
关键词:
金属离子注入
,
电阻率
,
纳米颗粒
,
导电机理
,
紫外线和红外线吸收
