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有机薄膜晶体管钛/金电极的刻蚀工艺研究

严剑飞 , 吴志明 , 太惠玲 , 李娴 , 付嵩琦

功能材料

采用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀和湿法刻蚀的方法,分别刻蚀有机薄膜晶体管(OTFT)的钛/金薄膜电极.改变刻蚀的工艺条件,研究了不同的刻蚀工艺对OTFT器件性能的影响,并对刻蚀结果进行了比较与分析.结果表明,ICP干法刻蚀不适合用来刻蚀OTFT器件的钛/金电极,而湿法刻蚀工艺可用于刻蚀关键尺寸...

关键词: 刻蚀 , 有机薄膜晶体管 , 钛/金 , 最佳工艺条件