马卫红
,
蔡长龙
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.05.024
采用直流磁控溅射方法在载玻片上制备钛钨合金热敏感薄膜,测试了所制备的钛钨合金热敏薄膜在不同温度下的方块电阻,并根据测试曲线计算薄膜的电阻温度系数(TCR).研究了工作气压、氩气流量以及溅射电流对钛钨合金膜TCR的影响,获得了最佳沉积工艺参数,即:溅射电流0.32 A,工作气压0.8 Pa,氢气流量60 cm3/min.在此参数下制备的钛钨合金膜TCR为0.2％/K.测试结果也表明钛钨合金膜的时间稳定性好.
关键词:
钛钨合金膜
,
磁控溅射
,
电阻温度系数
,
工艺参数
