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甲苯传感器的制作及特性

钟铁钢 , 梁喜双 , 刘凤敏 , 全宝富

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.06.006

采用溶胶-凝胶法制备了NASICON(钠超离子导体)固体电解质材料.利用XRD分析了所制备材料的结构,材料的平均粒径约为22nm.以NASICON为离子导电层,Sm_2O_3为敏感电极制作了具有良好敏感特性的C_7H_8气体传感器.在430℃工作温度下,器件对(5-50)×10~(-6)C_7H_8的灵敏度为-75mV/decade.并且对C_7H_8具有较高的选择性和良好的响应恢复特性,器件对5 × 10~(-6)和50×10~(-6)C_7H_8的响应时间分别为45和35秒,恢复时间分别为8和60秒.对器件的敏感机理做以简要的分析.

关键词: 气体传感器 , 钠超离子导体 , 甲苯 , 氧化钐

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