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热处理对化学镀钴磷薄膜组织结构和磁学性能的影响

宣天鹏 , 郑晓华 , 刘玉 , 邓宗钢

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.1999.01.004

化学镀钴磷薄膜具有优良的磁学性能.研究了不同的热处理条件下薄膜组织结构对磁学性能的影响.化学镀钴磷薄膜镀态下为单一的α-固溶体,矫顽磁力和矩形比较高,具有磁各向异性.随着温度的升高,依次析出CoP2和Co2P相,并由密排六方结构的α-Co向面心立方结构的β-Co转变;矫顽磁力经200℃,1 h热处理后达到最大值,随后呈下降趋势,矩形比则在一定范围内波动.

关键词: 钴磷薄膜 , 化学镀 , 组织结构 , 磁学性能

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