鲜晓斌
,
吕学超
,
伏晓国
,
任大鹏
材料导报
用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。
关键词:
沉积真空
,
铀薄膜
,
组成
,
结构
陈秋云
,
赖新春
,
黄火根
,
罗丽珠
,
蒋春丽
,
谭世勇
材料保护
铀薄膜有助于原子参数的测试研究,目前对铀薄膜研究的报道较少.利用超高真空磁控溅射法在单晶Si片上制备了铀薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM)对铀薄膜的表面形貌进行了观察,利用X射线光电子能谱仪(XPS)及X射线衍射仪(XRD)对铀薄膜的表面结构及元素状态进行了分析和表征.结果表明:铀薄膜呈片状式生长,比较致密、连续,表面由铀及氧化铀组成,之下为纯铀.
关键词:
磁控溅射
,
铀薄膜
,
膜表面状态
