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磁控溅射法制备铁氧体薄膜的磁性能研究

王乾 , 徐小玉

硅酸盐通报

采用溶胶-凝胶法制备纳米晶镍锌钴铁氧体/二氧化硅复合粉体,并将该粉体制成靶材.采用磁控溅射法在单晶硅基底和玻璃基底上沉积镍锌钴铁氧体复合薄膜,并对其进行磁性能研究.研究结果表明:镍锌钴铁氧体/二氧化硅复合薄膜具有较好的软磁性能;在相同的溅射条件下,两种基片上的薄膜的矫顽力都较小,但硅基片上薄膜的饱和磁化强度较玻璃基片上的大,软磁性能更好;经后退火处理,薄膜的饱和磁化强度得到明显地提高,软磁性能得到改善.

关键词: 铁氧体薄膜 , 软磁性能 , 磁控溅射 , 饱和磁化强度 , 矫顽力

掺杂Mg对纳米CoFe_2O_4/SiO_2复合薄膜结构和磁性的影响

刘宇 , 李季 , 张玉梅 , 华杰 , 刘梅 , 李海波

复合材料学报

采用溶胶-凝胶旋涂法制备了纳米Co1-xMgxFe2O4/SiO2(x=0,0.2,0.4,0.6,0.8)复合薄膜。利用XRD、SEM、原子力显微镜、振动样品磁强计对薄膜的结构、形貌和磁性进行了分析,研究了Mg2+含量对样品结构和磁性的影响。结果表明,样品中Co1-xMgxFe2O4具有尖晶石结构,晶粒尺寸在38~46nm之间。随着Mg2+含量的增加,Co1-xMgxFe2O4的晶格常数减小,样品的饱和磁化强度减小,矫顽力先增大后减小。样品Co0.4Mg0.6Fe2O4/SiO2垂直和平行膜面的矫顽力分别为350.7kA.m-1和279.4kA.m-1,剩磁比分别为67.2%和53.9%,Co1-xMgxFe2O4/SiO2复合薄膜具有较明显的垂直磁各向异性。

关键词: 铁氧体薄膜 , 纳米复合材料 , 结构 , 磁性 , 掺杂

电感器用Ni-Cu-Zn铁氧体薄膜的设计与性能研究

范跃农 , 冯则坤 , 陈中艳 , 龚荣洲

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00375

采用丝网印刷技术制备Ni-Cu-Zn铁氧体电感器薄膜,并对其性能进行了表征.XRD分析表明,铁氧体薄膜具有相同的晶格结构.研究结果表明,在引入了铁氧体薄膜后,电感器的电感量相对于空心电感器有30%左右的提高,品质因数依频率不同有所改善,共振频率有所降低,经400℃后处理的薄膜电感器在低频时性能最好,50 MHz时电感量提高了27%,品质因数提高了39%.

关键词: 铁氧体薄膜 , 电感量 , 品质因数 , 丝网印刷

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