赵慈
,
许英华
,
吴萍
,
姜恩永
金属功能材料
doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2002.06.008
本文利用对向靶反应溅射法制备Fe-N膜,本底真空度为6×10-4Pa,溅射功率为160W,基底温度约为180℃,再经180℃退火处理.所得样品的结构由X射线衍射分析(XRD)得到,并对Fe-N膜时效性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件下放置半年以上,其膜的结构及各相含量基本未变.
关键词:
铁氮薄膜
,
时效研究
甘肇强
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诸葛兰剑
,
吴雪梅
,
姚伟国
,
罗经国
功能材料
使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜,随着基片温度的变化,薄膜的成分是ε-Fe2～3N、γ-Fe4N或是二相的混合物,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大.以振动样品磁强计(VSM)测定了薄膜的磁性能.另外,研究了在基片温度为160℃时,改变主源中通入N2/Ar的比例对薄膜成分的影响.
关键词:
双离子束
,
铁氮薄膜
,
磁性能
