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Be薄膜制备及其生长动力学性质研究

罗炳池 , 罗江山 , 李恺 , 张吉强 , 吴卫东 , 唐永建

稀有金属材料与工程

采用真空蒸镀法制备厚度400～2100 nm、表面均方根粗糙度Rq＜6.0 nm的Be薄膜.XRD结果表明不同厚度Be薄膜均由hcp结构的(aBe)相组成.当蒸发温度从1243 K增加至1403 K时,Be原子沉积速率急剧增大,α-Be晶粒平均直径增大近3倍,其择优取向发生显著改变.薄膜表面小岛由不...

关键词: 铍薄膜 , 蒸镀 , 柱状晶 , 岛状生长