刘勇
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曹勇
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董刚强
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郭宇坤
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刘丰珍
人工晶体学报
采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜.扫描探针显微镜(SPM)图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调.光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3 μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350～1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5％.凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响.
关键词:
铝诱导织构
,
热丝化学气相沉积
,
硅薄膜
,
陷光结构
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玻璃衬底
郑文
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陈永生
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卢景霄
人工晶体学报
本实验在铝诱导织构的基础上,对以AIT浮法玻璃为衬底沉积非晶硅薄膜固相晶化进行了初步研究.采用拉曼散射、X射线衍射等手段对生成多晶硅薄膜的结构和光学性能进行了表征和分析.研究结果表明:热处理10h,薄膜的晶化率达到80％以上,同时具有良好的(111)择优取向；同平板玻璃衬底对比,AIT玻璃上制备的多晶硅薄膜具有良好的陷光作用.
关键词:
铝诱导织构
,
固相晶化
,
多晶硅薄膜
,
陷光作用
