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多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究

黄元林 , 李长青 , 马世宁

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.06.002

在LF6防锈铝的基体上采用多弧离子镀技术沉积了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN六层多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:多元多层膜表面膜层均匀,未出现龟裂现象;膜与基体之间形成了纳米级厚度的Al3Ti新相层,说明膜与基体间的结合存在化学键合,结合强度良好,划痕临界载荷达79N.显微硬度达HV0.11 911.0,与基体相比,其表面显微硬度提高了近20倍,耐磨性提高了10倍以上,但摩擦因数较高(μ=0.66),粘着对偶件磨损,使对偶件磨损较严重.

关键词: 多弧离子镀 , 铝质材料 , 多元多层膜 , 结合强度 , 摩擦学

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