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铝表面高压阳极氧化膜层结构分析

侯朝辉 , 刘建平 , 许岩 , 旷亚非

中国腐蚀与防护学报 doi:10.3969/j.issn.1005-4537.2001.03.008

采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)综合分析了铝在磷酸和钨酸钠体系中形成的高压阳极氧化膜的成分、形貌和结构.XPS结果表明,氧化膜的主要组成元素为O和Al,同时夹杂有少量的P和W.SEM分析发现,氧化膜呈网状结构,孔隙率约为10个/μm2,孔径大小为0.15~0.20μm.氧化膜大致可以分为紧密层和疏松层两层.紧密层、疏松层、基体三者之间相互交错,紧密相连.SEM显示,紧密层和疏松层中均存在大量的龟裂纹.XRD分析表明,氧化膜呈现非晶态结构,以铝的氧化物为主要组成成份,同时夹杂有少量的磷酸盐或钨酸盐.

关键词: 铝高压阳极氧化膜层结构与组成

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