欢迎登录材料期刊网
刘豫东 , 崔建国 , 马莒生
稀有金属材料与工程
为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(Under Bump Metallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构的影响.实验结果表明:铟的织构模式基本不受衬底材料的影响,其织构模式主要为强(101)丝织构和弱的(110)丝织构.这证明了铟的织构形成机理是典型的生长竞争机制.
关键词: 织构 , 衬底 , 铟凸点 , 磁控溅射
