田林海
,
宗瑞磊
,
朱晓东
,
唐宾
,
何家文
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.05.009
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响.结果表明:在相同的轰击能量(400eV)下,铜含量对薄膜结构和硬度的影响不明显,但是铜的加入有利于提高薄膜的断裂韧度;离子辅助轰击能量从400 eV增加到800 eV时薄膜的结构发生了显著变化,断裂韧度和硬度均大幅度提高.
关键词:
离子束辅助磁控溅射
,
铬-铜-氮薄膜
,
硬度
,
断裂韧度
