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一种新的β二酮铱MOCVD前驱体的制备及成膜性能

阎鑫 , 张秋禹 , 范晓东

稀有金属材料与工程

从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β二酮前驱体Ir(thd)3,通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征.热重分析表明,当温度升到290℃,前驱体基本挥发完全.使用合成的前驱体通过MOCVD沉积制备铱薄膜,利用XRD和AFM分...

关键词: 前驱体 , 铱薄膜 , MOCVD