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脉冲频率对锆薄膜表面形貌和结构的影响

刘伟 , 张晓红 , 刘锦华 , 梁建华 , 龙兴贵

材料研究学报

用脉冲激光气相沉积法在金属钼基底上制备锆薄膜,并用SEM,AFM,XRD等手段分析薄膜表面形貌和晶体结构,研究了脉冲激光频率对薄膜表面形貌和晶体结构的影响.结果表明:随着激光脉冲频率的提高锆薄膜表面液滴数目增加,液滴尺寸增大,薄膜的沉积速率显著降低.薄膜表面的平均纳米颗粒尺寸,随着频率的提高呈现先增...

关键词: 金属材料 , 锆薄膜 , 脉冲激光气相沉积 , 液滴 , 脉冲频率