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镓(Ga)的含量及分布对CIGS薄膜电池量子效率的影响

李伟 , 孙云 , 刘伟 , 李凤岩 , 周琳

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.030

采用两步法制备CuGaxIn1-xSe2薄膜,Cu-In-Ga金属预制层采用铜镓合金靶及铟靶通过磁控溅射方法沉积而成,采用固态源硒化法在硒蒸气密闭环境中硒化,通过调整镓(Ga)比例及分布控制CIGS薄膜的带隙,采用镓元素梯度分布,使CIGS薄膜带隙呈现抛物线状分布,电池的量子效率得到明显提高,制备出的CIGS薄膜电池开路电压与转换效率都得到很大程度的改善,电池最高转换效率已达9.4%.

关键词: 镓梯度分布 , 铜铟镓硒太阳电池 , 固态源硒化法 , 量子效率

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