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SU-8胶长细比效应的分子动力学模拟

尚海鑫 , 褚金奎 , 高佳丽

高分子材料科学与工程

运用分子动力学(MD)的研究方法,经过分子聚合、能量最优化和退火模拟等构建了不同长细比的SU-8光刻胶模型,模拟研究了在室温条件下不同长细比的SU-8胶纳米尺寸模型的弹性模量、泊松比、剪切模量等力学性能参数.结果表明,在室温下,随着SU-8胶模型长细比的增加,材料的扬氏模量和剪切模量逐渐增大,这一现...

关键词: SU-8光刻胶 , 力学性能 , 分子动力学 , 长细比