冯军
,
童洪辉
,
金凡亚
,
但敏
,
沈丽如
,
陈美艳
,
赖新春
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.020
在316L不锈钢基体上,采用磁控溅射镀铝、热处理、氧离子注入复合工艺制备 FeAl/Al2 O3防氚层,并利用 XRD、SEM、EDS 分别对膜层进行了相结构、表面形貌、化学成分等分析.结果表明,磁控溅射制备了质量良好的铝膜,最佳工艺参数为温度170℃,溅射功率1400 W；热处理生成了含 FeAl 相的过渡层,并提高了膜基结合力,在700℃,120 min 时,膜基结合力达到最大值62．5 N；最终由离子注入生成的Al2 O3膜层由α、γ相组成,涂层厚度约360 nm,抗热震性能较好,在600℃下该涂层使316L不锈钢的氘渗透率降低3个数量级.
关键词:
316L 不锈钢
,
磁控溅射
,
热处理
,
氧离子注入
,
防氚
