陈荣发
,
左敦稳
,
李多生
,
相炳坤
,
赵礼刚
,
王珉
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2006.01.005
采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺,制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜.实验发现,等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一.从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因,并通过激光拉曼光谱分析了碳球的结构和成分.结果表明,碳球由金刚石层、混合层和最外面的石墨层构成.详细分析了甲烷浓度、冷却水温度、放电电弧的局部高温、阳极喷嘴的表面质量对积碳形成的影响,并提出了改进措施.
关键词:
阳极碳球
,
结构与成分
,
等离子炬
,
工艺改进
