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阴极弧离子镀AlCrN涂层高温氧化后XPS分析

付贵忠 , 孔德军 , 王文昌 , 张垒

材料热处理学报

采用阴极弧离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面沉积了AlCrN涂层,进行了900℃下2h高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD、XPS等手段分析了AlCrN涂层高温氧化前后表面形貌、元素组成、物相组成及元素结合能,并讨论了AlCrN涂层高温氧化及失效机理.结果表明,氧化前AlCrN涂层由AlN、CrN和Cr2N物相组成,其中CrN表现出(200)的择优取向,氧化后其物相转变为抗高温的Al2O3、Cr3O4和Ti4O3氧化物;氧化前AlCrN涂层中Al和N以Al-N键、Cr和N以Cr-N键存在,氧化后Al与O以Al-O键、Cr与O以Cr-O键方式存在,在涂层-基体结合界面处形成了致密的扩散层.

关键词: 阴极弧离子镀 , AlCrN涂层 , 高温氧化 , 物相组成 , 光电子能谱分析

阴极弧离子镀TiAlSiN涂层表面-界面能谱分析与结合强度

汤成建 , 孔德军

材料热处理学报

采用阴极弧离子镀法在H13钢表面制备TiAlSiN涂层,通过SEM对TiAlSiN涂层表面和界面形貌进行了观察,通过EDS和XRD对其化学元素和物相进行了分析,利用划痕法测定了其结合强度,并对其界面结合机理进行了探讨.结果表明:TiAlSiN涂层表面主要成分为Ti、Al、Si和N元素,各元素分布均匀,未产生富集现象;高硬度的TiAlN是由Al原子以置换方式取代TiN中部分Ti原子生成的,且TiN和AlN晶粒得到细化,形成较为致密的结构,使涂层硬度得到了提高;Ti、Al、Si、N等原子在结合界面处发生相互扩散,是形成冶金结合的主要机制;TiAlSN涂层/H13钢体系具有较好的结合强度,用划痕法测得涂层界面结合强度为44 N.

关键词: 阴极弧离子镀 , TiAlSiN涂层 , 面扫描 , 线扫描 , 结合强度

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