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Ga阶梯式深结分布特性与应用研究

裴素华 , 黄萍 , 张美娜 , 江玉清

稀有金属材料与工程

利用开管扩Ga进行低浓度掺杂-长时间结深推移-浓度补偿与再分布方法形成Ga的阶梯式深结分布,用于普通晶闸管制备.实验与理论表明:J1和J2结附近Ga的较小浓度梯度aj保证器件具有较高阻断耐压特性;J3结附近Ga的浓度平缓分布,改善了器件触发参数的分散性;P2区内Ga较高的电导率-σ和J3结较大的注入比,同步协调和提高了器件的通态特性与动态特性.

关键词: Ga , 阶梯式分布 , 晶闸管 , 电学性能