孙丙成
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王华
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许积文
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杨玲
兵器材料科学与工程
采用溶胶-凝胶工艺在Pt/TiO2/Si衬底上制备Bi3.75Ce0.25Ti3O12电致阻变薄膜，研究退火温度对Bi3.75Ce0.25Ti3O12薄膜结构和介电、阻变特性的影响，分析了薄膜在低阻态和高阻态时的电流传导机理。结果表明，所制备Bi3.75Ce0.25Ti3O12薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构，不同退火温度Bi3.75Ce0.25Ti3O12薄膜的低、高阻态电流比ILRS/IHRS在104~106，在600℃时有2.5 V的最低Vset电压。无论是高阻态还是低阻态，Bi3.75Ce0.25Ti3O12薄膜的介电常数都随退火温度的升高而增大，介电损耗则随退火温度的升高而减小，高阻态大于低阻态时的介电常数和介电损耗。在低阻态和高阻态的低压区以欧姆传导为主，在高阻态的高压区以空间电荷限制电流（SCLC）传导为主。
关键词:
Bi3.75Ce0.25Ti3O12薄膜
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溶胶-凝胶
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阻变性能
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介电性能
韦长成
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王华
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许积文
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张小文
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杨玲
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陈齐松
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶工艺在p+-Si基片上制备了La0.67Ca0.33MnO3薄膜,构建了Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si三明治结构的阻变器件,研究了器件的电致阻变性能.结果表明:Ag/La0.67Ca0.33MnO3/P+-Si器件具有明显的双极性阻变特性,其高阻态(HRS)与低阻态(LRS)比(HRS/LRS)高于104,器件在高阻态和低阻态的电荷传导机制分别遵循Schottky势垒导电机制与空间电荷限制电流机制(SCLC).器件在2×103次可逆循环测试下,高、低阻态比无明显变化,表现出良好的抗疲劳特性.根据器件的高、低阻态阻抗谱,可以得到阻变效应是由器件界面的肖特基势垒的改变与器件内部缺陷填充共同作用的.
关键词:
Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si
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阻变性能
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传导机制
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溶胶-凝胶
