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集成微光机电系统研究现况及其产业化前景

王跃林 , 王渭源

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.001

本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景;在此基础上,提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法.

关键词: 集成微光机电系统 , 微电子机械系统 , 微系统