慕利娟
,
朴云龙
,
张晓平
,
赵永刚
,
魏斌
,
曹必松
,
江少林
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.02.009
本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化,并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)薄膜表面经氩离子适当厚度刻蚀后的测试结果表明,薄膜的零电阻超导临界温度 T c 随刻蚀时间适当的增加而提高,但过度刻蚀会带来电阻率的增大及转...
关键词:
氩离子刻蚀
,
高温超导滤波器
,
零电阻Tc
