闫鹏勋
,
李晓春
,
李春
,
崇二敏
,
刘洋
,
李鑫
,
徐建伟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.029
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦试验仪对制备的非晶金刚石薄膜进行了结构和性能表征.实验结果表明:制备的非晶金刚石薄膜表面十分光滑,表面粗糙度仅为0.1nm;薄膜中sp3键成份高达70.7%,对应薄膜硬度达到74.8GPa,接近金刚石的硬度;薄膜摩擦系数在0.12～0.16之间.文中也讨论了偏压类型对沉积薄膜结构的影响.
关键词:
磁过滤等离子体
,
非晶金刚石膜
,
周期性偏压
,
性能
孙延
,
姚月玲
,
朱晓瑜
,
张冬梅
,
陈刚
,
钟科
,
黎永钧
新型炭材料
doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2007.01.008
采用带过滤的阴极真空等离子电弧镀膜技术,对口腔牙用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)树脂及纯钛材料进行了表面镀覆非晶金刚石膜的改性处理,获得了镀覆非晶金刚石膜的PMMA树脂和镀覆非晶金刚石膜的纯钛口腔牙用材料.通过细胞培养和动物实验,考察了非晶金刚石膜的生物相容性.采用HA-1型涂层附着力划痕试验仪研究了非晶金刚石膜与PMMA树脂和与纯钛的结合力及镀覆非晶金刚石膜PMMA树脂和镀覆非晶金刚石膜纯钛的耐磨性能.在人工唾液中模拟口腔环境进行电化学分析测试了镀覆非晶金刚石膜纯钛材料的耐腐蚀性栽能.借助SEM观察了镀覆非晶金刚石膜纯钛材料的表面形貌.实验结果显示:非晶金刚石膜细胞毒性评级为0级,溶血率为3.08%,短期全身毒性试验为阴性;PMMA树脂经极化预处理后可镀覆结合力为(10.86±0.79)N的非晶金刚石膜;镀覆非晶金刚石膜纯钛表面自腐蚀电位和过钝化电位正移.表明非晶金刚石膜作为生物材料,其生物安全性、耐腐蚀性及镀膜结合强度达到口腔医用材料的要求.
关键词:
非晶金刚石膜
,
牙科材料
,
生物相容性
,
耐磨性
,
耐蚀性
