陈少纯
,
高远
,
王继民
,
顾珩
,
吴昊
,
曹洪杨
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2012.04.016
采用流化床反应技术,以H2还原SiHCl3的方法制备太阳能级多晶硅.在直径50mm的流化床反应器中,加入多晶硅颗粒作为初始晶种,通入SiHCl3和H2气体使颗粒处于流态化状态；高温下,反应生成的多晶硅在晶种表面沉积令颗粒逐渐长大而获得颗粒多晶硅.实验考察了流化床反应状态下的硅还原率和硅沉积速率及其影...
关键词:
流化床
,
多晶硅
,
颗粒硅
,
太阳能
