周幼华
,
陆培祥
,
杨光
,
杨义发
,
郑启光
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2007.03.034
采用飞秒脉冲激光沉积法在Si(100)和Si(111)单晶基片上制备了均匀的单相β-FeSi2薄膜;用X射线衍射(XRD),场扫描电镜(FESEM),能谱仪(EDX),傅立叶红外拉曼谱仪(FTRIS)研究了薄膜的结构、组分、表面形貌和光学性能.观察到了β-FeSi2在Si单晶基片上的生长与晶面取向有...
关键词:
β-FeSi2
,
飞秒
,
脉冲激光沉积法(PLD)
,
光致发光