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氧化铝模板热卷曲问题的研究

王丹丽 , 阮永丰 , 张灵翠 , 王鹏飞 , 邱春霞 , 祝威

人工晶体学报

多孔阳极氧化铝作为一种理想的模板材料,在纳米合成和微纳米技术领域有广泛的应用,然而氧化铝模板在高温退火时会发生卷曲,这大大限制了它的应用.本文就氧化铝模板的热卷曲问题进行了系统的研究,认为退火时产生次孔是导致模板卷曲的直接原因.并首次提出了采用加压退火方法,有效地解决了退火卷曲问题.文中报告了诸多AAO模板的热卷曲实验数据,并从微观角度对热卷曲原因进行了解释.

关键词: 多孔阳极氧化铝 , 卷曲 , 高压退火