冯宗财
,
陈毅敏
,
王跃川
,
陈波
,
杜春蕾
功能材料
通过1,2,4-苯三甲酸酐和环氧氯丙烷合成高支化碱溶性聚酯,再用丙烯酸与多官能团环氧树脂反应产物对高支化聚酯改性得到高支化碱溶性感光聚合物;研究了这类聚合物的碱溶性、感光性和光成像特性.探索了光致抗蚀剂的配方组成和成像因素.结果表明,以接枝引入15%改性多官能团环氧树脂配制的光致抗蚀剂综合性能最好,分辨率3μm以内(白光).
关键词:
高支化聚酯
,
丙烯酸
,
多官能团环氧树脂
,
光成像
苏琳
,
姜浩
,
罗凯
,
王跃川
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.09.019
以偏苯三酸酐、环氧氯丙烷、甲基四氢苯酐、乙醇合成了带有线形单元的高支化聚酯,研究了投料配比和投料方式对合成产物的影响,分别用1H NMR、FTIR、GPC、旋转粘度计以及DSC表征和测试了高支化聚酯的结构和性能. 结果表明,引入甲基四氢苯酐和乙醇作为线形单元后,高支化聚酯的表观分子质量为2 000～3 500 g/mol,与投料的配比和方式有关,线形基团的引入使聚酯的玻璃化转变温度降低.
关键词:
高支化聚酯
,
开环聚合
,
偏苯三酸酐
,
环氧氯丙烷
冯宗财
,
王跃川
功能材料
通过环氧氯丙烷和1,2,4-偏苯三甲酸酐合成高支化碱溶性聚酯,再与甲基丙烯酸缩水甘油酯反应得到高支化碱溶性丙烯酸化聚酯;研究了树脂的组成对感光性和碱溶性的影响;高速瓜物料配比,可以获得较好的碱溶性和光固性能.
关键词:
高支化聚酯
,
光固化树脂
,
杭蚀剂
