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液相电沉积类金刚石薄膜的组成及结构分析

江河清 , 黄丽娜 , 张治军 , 徐洮 , 刘维民

功能材料

利用液相电沉积的方法,从乙腈中在硅片上沉积非晶碳薄膜,首次发现了电流密度随反应时间呈波动变化的规律.红外光谱和拉曼光谱分析表明所得薄膜是一种典型的含氢类金刚石薄膜(a-C∶H薄膜),并用高斯分解的方法对非晶碳薄膜的拉曼光谱和X射线光电子能谱进行定量分析,从而确定这种a-C∶H薄膜中sp3的相对含量为30%～35%.

关键词: 液相电沉积 , a-C∶H薄膜 , Raman光谱 , XPS , 高斯分解