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Co对弧光放电离子镀WC-Co膜生长的影响

于力 , 金柱京 , 黄燕清 , 朱天锦 , 吉川一功

金属学报

利用弧光放电离子镀法获得了难熔超硬WC-Co膜(其中含Co为0,4,15wt-%).随着Co含量的增加,使真空室里等离子态趋于稳定,并使成膜速度增加;其组织结构为Thornton图里的T区,并逐渐由柱状晶组织变成致密的组织结构。

关键词: 弧光放电离子镀 , WC-Co film , refractory metal , Co

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