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晶格形变情况下Ga-In-As体系热力学研究

沈剑韵

金属学报

由已有热力学和相图实验数据，用Ｃａｌｐｈａｄ技术优化出一组描述Ｇａ－Ｉｎ－Ａｓ三元体系热力学性质的数学模型，定量估算了在用外延法制作ＩＩＩ－Ｖ族化合物时，由于外延层和衬底晶格不匹配，外延分子晶格弹性形变的形变能对固液平衡相图的影响，计算相图和实验结果基本一致．

关键词: Ｇａ－Ｉｎ－Ａｓ , null , null , null , null