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1Cr18Ni9Ti不锈钢氮离子注入层超显微硬度的研究

杨安静 , 蔡亦炜 , 陈秋龙

金属学报

应用超显微硬度计测定１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度，并用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪（ＡＥＳ）及高精度轮廓仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度．结果表明：在９０ｋｅＶ，３ｘ１０~１７Ｎ＋／ｃｍ~２注入时．共注入层深度为０．１８μｍ、用１ｍＮ载荷侧得本征硬度ＨＶ为３．４７ＧＰａ，比非注入态表面硬度提高三倍之多，合理的试验载荷应≤ｌｍＮ（０．１ｇ）．

关键词: ｌＣｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ , ion implantation , ultra-microhardness