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Cr₂O₃涂层对Al₂O₃绝缘瓷二次电子发射特性的影响

郑家贵 , 蒋立新 , 蔡亚平 , 罗四维 , 周心明

无机材料学报

用Ｃｒ_２Ｏ_３涂复ａ－Ａｌ_２Ｏ_３绝缘瓷表面，并经热退火处理．观测了它们的二次电子发射系数、ＳＥＭ、ＸＲＤ、ＸＰＳ和ＥＥＬＳ．发现样品在退火后，涂层元素扩散进了Ａｌ_２Ｏ_３陶瓷基底，生成了新相；根据ＸＰＳ和ＥＥＬＳ的分析结果，表面层能隙减小，能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加，提供了更多可能的复合中心和陷阱中心，有利于非平衡载流子的散射跃迁，从而大大耗散能量，减少二次电子发射．

关键词: Cr₂O₃涂层 , α-Al₂O₃ insulator , secondary electron emission characteristic