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  • 论文(2)

偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响

付伟佳 , 刘志文 , 谷建峰 , 刘明 , 张庆瑜

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J1077.2009.00602

利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响. 研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小,密度逐渐变大. ZnO在基片表面成核过程中的本征缺陷成核...

关键词: ZnO薄膜 , reactive radio-frequency magnetron sputtering , bias , morphological analysis

PBLZT弛豫铁电陶瓷的动态及偏压介电和压电特性

伍建新 , 庄志强

无机材料学报

测量了3mol%Ba掺杂的PLZT10/65/35弛豫铁电陶瓷的电滞回线、横向场诱应变、偏压下的介电常数和压电常数,并根据电滞回线和场诱应变曲线的斜率计算了动态介电常数和压电常数.实验表明,电场<8kV/cm时,动态介电常数比偏压介电常数大很多,电场>8kV/cm时,差值随电场增大而减小;电场在3~...

关键词: 介电 , piezoelectric , dynamic , DC bias , relaxor ferroelectric ceramic