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薄膜厚度对透明 PLT厚膜的介电及光学性质的影响

郑分刚 , 陈建平 , 李新碗

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00459

用溶胶-凝胶法在镀有氧化铟锡透明导电电极的玻璃基片上沉积钛酸镧铅薄膜, 在相对较低温度580℃退火, 得到了纯钙钛矿结构的透明PLT薄膜, 薄膜厚度从580~1830nm. 随着薄膜厚度的增加, PLT薄膜的晶粒变大、介电常数增大, 而矫顽场减小. 所有样品的透射率都在70%以上, 最大达到90%左右. 当薄膜厚度增加后, 透射率降低, 并且截止波长向长波方向移动. 在633nm处, 1830nm厚的PLT(掺镧8%)薄膜的折射率n和消光系数分别为2.390.009.

关键词: PLT厚膜 , dielectric properties , optical properties , sol-gel

WO3薄膜的动态电变色特性

王忠春 , 胡行方

无机材料学报

本文以H2WO4和H2O2为原料,采用溶胶-凝胶法成功地制备了WO3电色薄膜.经150℃处理的薄膜在循环伏安条件下的动态着色、消色效率分别为100、86cm2/C(第10个循环),在633um处δT达50%以上.经350℃处理的薄膜稳定性大大提高了,但其变色幅度却较小.采用恒电量法(10mC/cm2)对薄膜进行电化学循环测定表明,薄膜的可逆性及循环寿命相对于循环伏安法大大提高,这是因为此法避免了对表面层的过度注入.

关键词: WO3 , null , null , null , null

退火对立方相 MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性质影响

陈乃波 , 吴惠桢 , 徐天宁 , 余萍

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00993

在蓝宝石(0001)衬底上低温生长立方相MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜, 用X射线衍射(XRD)和透射光谱分析高温退火对薄膜的结构和光学性质的影响. 结果表明: 对Mg0.53Zn0.47O薄膜, 在900℃的退火温度下, (0002)衍射峰以及透射光谱上双吸收边的出现均表明有六方结构从其立方结构中分离出来;但对于Mg含量高于55%的样品, 即使经历了1000℃的高温退火, 也不会有任何相分裂现象出现. 而电学测试结果表明, 高温下热稳定性良好的立方相Mg0.55Zn0.45O晶体薄膜还能用于金属-绝缘体-半导体的绝缘层, 并且漏电流小. 由此可以判断, x≥0.55的超饱和MgxZn1-xO薄膜具有稳定的立方相晶体结构和优良的光学、电学性质, 因而是制作高质量的光电子器件和量子阱激光器的理想材料.

关键词: 立方相MgxZn1-xO薄膜 , anneal , crystal structure , optical property , electrical property

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