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刘桂玲 , 黄政仁 , 刘学建 , 董绍明 , 江东亮
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00769
为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面, 通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法. 碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层. 本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术, 并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述.
关键词: 碳化硅 , surface coatings , optical fabrication
