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二氧化钒薄膜在α-Al₂O₃衬底上的外延生长及其金属-半导体相变特性研究

吴召平 , 方平安

无机材料学报

利用ＸＲＤ及ＸＲＤ极图技术表征了用激光剥离技术生长的ＶＯ_２薄膜．结果表明：在衬底温度为５００℃，氧气偏压６．６７Ｐａ的条件下，在Ａｌ_２Ｏ_３（１１２０）衬底上能实现ＶＯ_２的二维外延生长．薄膜的结构除了与沉积工艺有关外，还和衬底的取向密切相关．在Ａｌ_２Ｏ_３（１１２０）衬底上，定向生长的（１００）ＶＯ_２在Ｍｉｌｌａｒ指数＜５时，除了［０１０］以外，不存在其他晶格矢量与衬底相匹配，从而不可能实现三维单晶薄膜的外延生长．电学特性的测试结果显示，在温度为６５℃左右，ＶＯ_２薄膜出现相交，薄膜的电阻率变化达４个数量级．

关键词: 二氧化钒 , null , null , null

氮化铝薄膜织构的极图法研究

许小红 , 武海顺 , 马文瑾 , 段静芳 , 李佐宜

无机材料学报

在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AIN薄膜以(DO2)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AIN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AIN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.

关键词: 氮化铝薄膜 , pole-figure method , texture

两种位向关系的描述方法的转换及其应用

孟杨张文征

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00805

本文推导了表征两套晶格间的位向关系的标识矢量方法到Euler角方法的转换关系, 基于这个关系可以根据背散射电子衍射(EBSD)数据对少变体的系统进行拟合, 获得各变体相互自洽的位向关系精确定量描述. 本方法比高指数极图拟合的方法适用性更广, 因为后者受最低变体数量的局限. 以不锈钢的实验结果为例介绍了该方法的应用, 检测出变体之间接近但不等于孪晶的取向差关系.

关键词: 位向关系 , electron backscattering diffraction , pole figure

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