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膜厚对SnO₂厚膜型气敏器件灵敏度的影响

傅军

无机材料学报

本文通过制备不同膜厚的纳米SnO₂厚膜型气敏器件试样，测量试样对乙醇气体的灵敏度和试样的阻温曲线并进行复阻抗分析，研究了试样的膜厚对灵敏度的影响．SnO₂纳米材料由化学沉淀法制备，采用平面丝网印刷技术制作不同膜厚的气敏试样．结果表明，试样膜厚在65μm左右对乙醇气体具有最大灵敏度．膜厚对灵敏度的影响可能与膜层的晶粒接触状态如接触面积、气孔率、气孔宽度和深度等发生变化有关．

关键词: SnO₂厚膜 , null , null , null