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氮化碳薄膜的结构与特性

陈光华 , 吴现成 , 贺德衍

无机材料学报

采用射频等离子体增强化学气相沉积（ＣＶＤ）＋负偏压热丝辅助方法直接在Ｓｉ（１００）衬底上制备了多晶Ｃ_３Ｎ_４薄膜．Ｘ射线衍射测试表明，薄膜同时含有α－和β-Ｃ_３Ｎ_４晶相以及未知结构，没有观测到石墨衍射峰．利用扫描电子显微镜观测到线度约２μｍ、横截面为六边形的β－Ｃ_３Ｎ_４晶粒．纳米压痕法测得薄膜的硬度达７２．６６ ＧＰａ．

关键词: 化学气相沉积 , C₃N₄ , XRD , SEM , Hardness